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氮化硅陶瓷基板
氮化硅作為高溫工程材料而引人注目,氮化硅陶瓷具有一系列的特性,即輕密度(3. 19g/cm3)、硬(維氏硬度~19GPa) 、高強度(彈性模量~300GPa) 、熱膨脹系數小(約3×10-6/℃) 。Si3N4的高溫蠕變小,特別加入適量SiC之后,抗高溫蠕變性顯著提高。Si3N4 的抗氧化性很好,可耐氧化到1400℃, 實際使用溫度達1200℃。Si3N4 的抗腐蝕性好,能耐大多數酸的侵蝕,但不能耐濃 NaOH和HF的侵蝕。Si3N4的摩擦系數較小,僅0.1, 與加油的金屬表面相似。由于氮化硅陶瓷的優異性能,它已在許多工業領域獲得廣泛的應用,并有許多潛在的用途。利用其耐高溫耐磨性能,在陶瓷發動機中用于燃氣輪機的轉子、定子和渦形管;火花塞、活塞罩、汽缸套、副燃燒室以及活塞一渦輪組合式航空發動機的零件等。利用它的抗熱震性好、耐腐蝕、摩擦系數小、熱膨脹系數小的特點,它在冶金和熱加工工業上被廣泛用于測溫熱電偶套管、鑄模、坩堝、馬弗爐爐膛、燃燒嘴、發熱體夾具、煉鋁爐爐襯、鋁液導管、鋁包內襯、鋁電解槽襯里、熱輻射管、傳送輥、高溫鼓風機和閥門等;鋼鐵工業上用作煉鋼水平連鑄機上的分流環;電子工業上用作拉制單晶硅的坩堝等。利用它的耐腐蝕、耐磨性好、導熱性好的特點,它被廣泛用于化工工業上作球閥、密封環、過濾器和熱交換器部件等。利用它的耐磨性好、強度高、摩擦系數小的特點,它被廣泛用于機械工業上作軸承滾珠、滾柱、滾珠座圈、高溫螺栓、工模具、柱塞泵、密封材料等。此外,它還被用于電子、軍重和核工業上,如開關電路基片、薄膜電容器、高溫絕緣體、雷達、天線罩、導彈尾噴管、炮筒內襯、核反應堆的支承、隔離件和核裂變物質的載體等。